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本文提供用于冷却基材的方法。在某些实施例中，一种用于冷却一基材的方法包含：在一处理腔室中从一准备温度至一大于约摄氏900度的顶峰温度加热一基材；以及通过以至少约3mm/s的速率在垂直于该基材的上表面的方向上移动该基材，从该顶峰温度的约摄氏5...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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