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本发明提出一种控制晶圆边缘缺陷的方法，包括下列步骤：提供一沉积反应腔，所述反应腔包括相对而设的上极板和下极板；将晶圆放置于所述下极板上；提供一保护罩，设置于所述晶圆和所述上极板之间，其中，所述保护罩的面积小于所述晶圆，从而露出所述晶圆的边缘...
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