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本发明涉及一种去除光掩模板表面微尘和沾污的装置及其方法，该种装置包括下端开口的腔体、容置在腔体内的平台以及平行于所述平台且位于平台上方的可移动的喷淋装置，所述腔体上设有进气管和出气口，所述进气管一端连接至气溶剂发生装置，另一端连接至喷淋装置...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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