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等离子体处理装置（１１）具备向处理容器（１２）内供给等离子体处理用的反应气体的反应气体供给部（１３）。反应气体供给部（１３）包括：第一反应气体供给部（６１），其被设于电介质板（１６）的中央部，朝向保持于保持台（１４）上的被处理基板（Ｗ）的中...
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