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根据本发明的用于研磨氮化硅的组合物，其包含硅胶、包含磷酸化合物和硫酸化合物的研磨助剂。通过进一步包含氧化剂来控制代表金属膜的研磨速度与氮化硅膜的研磨速度之比的第一选择比以及代表氧化物绝缘膜的研磨速度与氮化硅膜的研磨速度之比的第二选择比。...
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