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用于电沉积铜层的无氰电解液组合物制造技术
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下载用于电沉积铜层的无氰电解液组合物的技术资料
文档序号:7148876
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用于在基材表面上电沉积铜层的无氰电解液组合物和用于沉积这类层的方法。该电解液组合物至少包含铜(II)离子,乙内酰脲和/或乙内酰脲衍生物,二羧酸和/或三羧酸或它们的盐,以及选自钼、钨和钒的元素的金属酸盐和/或铈化合物。...
该专利属于恩索恩公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩索恩公司授权不得商用。
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