下载平面热电堆红外线微传感器的技术资料

文档序号:7148032

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一种红外线传感器,包含一具有导热率相对较高部分(12)及导热率相对较低部分(14)的散热基材(10)及一具有热接点(18)及冷接点(20)的平面热电偶层(16),其中热接点(18)位于散热基材的导热率相对较低的部分(14)上。低导热介电层(...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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