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一种辐射源（ＳＯ）配置成生成极紫外辐射。所述辐射源（ＳＯ）包括等离子体形成部位（２），所述等离子体形成部位位于燃料将通过与辐射束（５）接触而形成等离子体所在的位置；出口（１６），所述出口配置成允许气体出离辐射源（ＳＯ）；和污染物阱（２３），...
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