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一种光谱纯度滤光片（３０）配置成反射极紫外辐射。所述光谱纯度滤光片（３０）包括：基底（３１）；和抗反射涂层（３２），所述抗反射涂层在所述基底（３１）的顶表面上。所述抗反射涂层（３２）配置成透射红外辐射。滤光片还包括多层堆叠体（３３），所述多...
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