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反射型掩模版实质上减小或消除了吸收ＥＵＶ辐射导致的图案变形，同时保持掩模版厚度符合工业标准。反射型掩模版包括超低膨胀（ＵＬＥ）玻璃的层和热传导率实质上大于ＵＬＥ玻璃的堇青石基底。将铝层设置到ＵＬＥ玻璃的第一表面，并将ＵＬＥ玻璃的第二表面抛光...
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