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一种金属回收装置（６６），其从用由有机金属化合物原料形成的原料气体而在被处理体的表面上形成薄膜的处理容器（１０）所排出的排气气体中回收金属成分，将排气气体进行除害。金属回收装置具有：捕集单元（８０），其具有捕集部件，所述捕集部件构成为，加热...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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