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一种被配置用于将光学元件（１）安装在用于光刻设备的模块（７０，１７０）中的支座。所述支座包括：多个弹性构件（１２），被构造且布置以沿圆周支撑所述光学元件（１）。每一弹性构件（２）包括多个弹性子部（４′，４″，４″′），所述弹性子部被配置以围...
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