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激光加工装置及其加工方法制造方法及图纸
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文档序号:7139627
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激光加工装置(1)具有:加工用光光源(3),其发出加工用光;观察用光发光部(4),其发出观察用光;光纤(19),其对在电子部件(2)上产生的多种波长的光进行导光;检测部(5),其对由光纤(19)导光的光进行检测;以及控制部(31),其对加工...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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