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本发明涉及一种制备氧化物溅射靶的方法。所述方法包括如下步骤：提供靶座；通过同时喷射至少一种氧化物和至少一种金属在所述靶座上施加可溅射材料的外层。所述可溅射材料的外层包含第一相和第二相。所述第一相包含至少第一金属和第二金属的氧化物；所述第二相...
该专利属于贝卡尔特先进涂层公司所有，仅供学习研究参考，未经过贝卡尔特先进涂层公司授权不得商用。

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