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本发明的实施例提供一种设备，该设备提供在处理腔室内的良好ＲＦ均一性。在一个实施例中，该设备包括基板支撑组件、终端及介电绝缘体。基板支撑组件具有中央通道，而中央通道沿着中心轴形成。提供ＲＦ传输线。该ＲＦ传输线具有大致垂直部分以及大致水平部分，...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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