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文档序号:7135212
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物体支撑结构构造成支撑物体。物体支撑结构包括回填结构,构造成供给热缓冲流体至物体支撑结构并从物体支撑结构抽取热缓冲流体。回填结构连接至抽取管道,其构造并布置成从回填结构抽取至少气相的热缓冲流体。回填结构连接至供给管道,构造并布置成供给液相热...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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