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半导体芯片的拾取装置及拾取方法制造方法及图纸
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文档序号:7133732
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在半导体芯片拾取装置中,在用吸附筒夹(18)吸附拾取的半导体芯片(15)状态下,使得盖(23)的前端(23a)从密接面(22)进入,一边上推保持片材(12)及半导体芯片(15),一边使得盖(23)滑动后,使得盖(23)表面与密接面大致平行,...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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