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本发明提供一种微波等离子体处理装置，其中，对用于形成等离子体的微波进行放射的平面天线（３１），在其表面以同心状被分为中央区域（３１ａ）、外周区域（３１ｃ）、中央区域和外周区域的中间区域（３１ｂ）的情况下，朝向各异的微波放射孔（３２）的对以同...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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