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一种成像光学系统（７）具有多个反射镜（Ｍ１至Ｍ６），其经由用于成像光（３）的光束路径将物平面（５）中的物场（４）成像到像平面（９）中的像场（８）中。成像光学系统（７）具有出瞳遮挡。至少一个反射镜（Ｍ１至Ｍ４）具有用于所述成像光（３）穿过的开...该专利属于卡尔蔡司ＳＭＴ有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司ＳＭＴ有限责任公司授权不得商用。
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一种成像光学系统（７）具有多个反射镜（Ｍ１至Ｍ６），其经由用于成像光（３）的光束路径将物平面（５）中的物场（４）成像到像平面（９）中的像场（８）中。成像光学系统（７）具有出瞳遮挡。至少一个反射镜（Ｍ１至Ｍ４）具有用于所述成像光（３）穿过的开...