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一种成像光学系统（７）具有多个反射镜（Ｍ１至Ｍ６），其将物平面（５）中的物场（４）成像到像平面（９）中的像场（８）中。成像光学系统（７）具有光瞳遮挡。物场（４）和像场（８）之间的成像光（３）的光束路径中的倒数第一个反射镜（Ｍ６）具有用于成像...该专利属于卡尔蔡司ＳＭＴ有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司ＳＭＴ有限责任公司授权不得商用。
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