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本发明的电子显微镜具有：具有反射电子检测元件（９）的反射电子检测器；具有偏置电极（１１）和试样台（１２）的低真空二次电子检测器；以及切换所述各检测器的检测信号的信号切换器（１４）。在观察条件存储器（２０）中针对所述各检测器存储有最佳的观察条...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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