电子显微镜制造技术

本发明专利技术的电子显微镜具有：具有反射电子检测元件（９）的反射电子检测器；具有偏置电极（１１）和试样台（１２）的低真空二次电子检测器；以及切换所述各检测器的检测信号的信号切换器（１４）。在观察条件存储器（２０）中针对所述各检测器存储有最佳的观察条件。ＣＰＵ（１９）根据所述各检测器的切换来调出存储在观察条件存储器（２０）中的观察条件，并设定电子显微镜的状态以形成所调出的观察条件。图像处理装置（２２）将对应于所述各检测器的切换而得到的多个检测信号分别转换为二维图像信号，并对各个二维图像信号的画质进行评价。在画质优先模式下，ＣＰＵ（１９）根据图像处理装置（２２）的评价结果来切换到评价值高的检测器进行图像显示。由此，在具有多个检测器的电子显微镜中，能够提供容易选择检测器以及容易设定针对检测器的最佳的观察条件的电子显微镜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子显微镜，特别涉及适于电子显微镜的检测器的选择以及设定与所选择的检测器相应的观察条件的电子显微镜。
技术介绍
电子显微镜的检测器基于检测方式的不同而有多种类型。特别是具有低真空观察功能的扫描电子显微镜中，除了在IPa以下的高真空时主要使用的二次电子检测器之外， 作为在IPa以上的低真空时检测信号的单元，有通过向试样表面照射电子束来检测在试样表面反射后的电子的反射电子检测器，以及利用了放大现象的低真空二次电子检测器等， 所谓放大现象，其重复了以下过程向试样表面照射电子束，从试样表面产生的二次电子与残留在试样室内的气体分子碰撞、气体分子分离成电子和正离子。这里，在切换各检测器的信号的情况下，除了切换信号以外，需要进行检测器自身向试样室的插入、工作距离(working distance)、真空度、加速电压以及电子束直径的设定等，其操作非常繁杂。例如，在基于电子束直径的理论分辨率方面，最好是工作距离短，电子束直径小，但是在反射电子检测的情况下，向电子束附近镜面反射的反射电子在工作距离短时会从检测器的电子束通道向上方脱离，从而检测效率降低。另外，使电子束直径较小， 即电子束的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种电子显微镜装置，其具有：用于检测通过将电子束照射到试样上而产生的信号的不同种类的多个检测器；以及对各个检测器的检测信号进行切换的信号切换单元，该电子显微镜装置的特征在于，具备：存储单元，其针对所述多个检测器的每个检测器存储最佳的观察条件；以及控制单元，其对应于所述多个检测器的切换来调出存储在所述存储单元中的观察条件，并设定电子显微镜的状态以形成所调出的观察条件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：星野吉延，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：JP