温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种晶圆垂直加工设备及方法。根据本发明的晶圆垂直加工设备包括支撑部件；其中，在晶圆垂直加工过程中，所述支撑部件位于晶圆周围，用于在晶圆的边缘处支撑竖直放置的晶圆。通过利用根据本发明的晶圆垂直加工设备及晶圆垂直加工方法，支撑部件仅...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。