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一种激光植球系统技术方案
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下载一种激光植球系统的技术资料
文档序号:7123437
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本发明公开了一种激光植球系统,包括依次光路设置的激光发生器、介质镜、F-θ镜、焊接工作腔,焊接工作腔的侧壁设置有Z方向伺服运动机构,在焊接工作腔的下方设置有XY伺服工作平台,XY伺服工作平台上放置工件,所述介质镜的上方设置有CCD传感器,在...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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