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本发明提供离子供给装置和具有离子供给装置的被处理体的处理系统。离子供给装置(54)具有将离子和载气喷出到要除去静电的除电对象的离子供给喷嘴(58)。离子供给喷嘴(58)在其喷出口上设有狭缝(59)。狭缝(59)形成为在其与除电对象之间的距离...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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