下载含羟基的烃基双环胍光碱产生剂的环保型光刻胶组合物的技术资料

文档序号:7096656

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本发明公开了一种环保型光刻胶组合物,包括:a.在曝露于辐射时形成碱的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂,数量足以引发聚合物交联;b.含有酯基的水溶性聚合物;c.含有羟基的水溶性聚合物;d.溶剂。含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚...
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