含羟基的烃基双环胍光碱产生剂的环保型光刻胶组合物制造技术

本发明专利技术公开了一种环保型光刻胶组合物，包括：a.在曝露于辐射时形成碱的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂，数量足以引发聚合物交联；b.含有酯基的水溶性聚合物；c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚合物、含有羟基的水溶性聚合物的质量比优选为1∶5～20∶5～20。本发明专利技术采用水溶性好的聚合物，避免有机溶剂的污染，且易得到均匀薄膜，含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂制备方法简单，主要原料已商业化，成本低，吸收光谱宽(190～280nm)、光激发效率高，催化活性高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种含羟基的烃基双环胍光碱产生剂的光刻胶组合物。
技术介绍
现代文明是电子芯片驱动的，电子芯片都是光刻工艺的产物，而光刻胶是光刻的关键材料，又称光致抗蚀剂。光刻胶广泛用于印刷电路和集成电路的制造以及印刷制版等过程。中国的微电子和平板显示产业发展迅速，带动了光刻胶与高纯试剂供应商等产业链中的相关配套企业的建立和发展。特别是2009年LED (发光二极管)的迅猛发展，更加有力地推动了光刻胶产业的发展。但是长期以来，光刻胶产业存在下列问题一.使用光酸产生剂，使用过程中产生的有机酸腐蚀金属、污染环境；二.使用昂贵且污染严重的有机溶剂作显影液；三.含羟基和酯基的聚合物，由于极性的差异，如果没有强效光引发催化剂，很难把这两类聚合物交联形成没有相分离的均勻物，从而限制了其在水性体系的应用。因而目前光刻胶的处理过程总会涉及强碱显影液和高纯有机溶剂，非常经济环保的去离子水，在光刻胶领域却很少有其作为溶剂或显影液的报道。
技术实现思路
本专利技术的目的是首次提出含羟基的烃基双环胍光碱产生剂应用于水溶性聚合物体系光刻胶的研究思路，试制出了具有较好图案化效果的环保型光刻胶组合物。本专利技术提供一种环保型光刻胶组合物，其包括a.在曝露于辐射时形成碱的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂，数量足以引发聚合物交联；b.含有酯基的水溶性聚合物； c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚合物、含有羟基的水溶性聚合物和溶剂的质量比优选为1 (5 20) (5 20) (100 200)。步骤a中含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂，其结构如下权利要求1.环保型光刻胶组合物，其特征是，包括a.在曝露于辐射时形成碱的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂；b.含有酯基的水溶性聚合物；c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。2.根据权利要求1所述的环保型光刻胶组合物，其特征是，含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚合物、含有羟基的水溶性聚合物和溶剂的质量比为 1 (5 20) (5 20) (100 200)。3.根据权利要求1或2所述的环保型光刻胶组合物，其特征是，所述的含酯基的水溶性聚合物指1-乙烯基吡咯烷酮和2-甲基丙烯酸二甲氨基乙酯质量比1 1的双聚物。4.根据权利要求1或2所述的环保型光刻胶组合物，其特征是，所述的含有羟基的水溶性聚合物是纤维素及其衍生物。5.根据权利要求1或2所述的环保型光刻胶组合物，其特征是，所述的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂，其结构如下6.权利要求1所述的环保型光刻胶组合物成像的方法，其特征是，包括以下步骤(1) 在载玻片上涂布光刻胶组合物薄膜；( 烘焙干燥去除溶剂；C3)以紫外光照射光刻胶薄膜；(4)后烘焙光刻胶；(5)以去离子水为显影液将照射过的薄膜显影。7.根据权利要求6所述的环保型光刻胶组合物成像的方法，其特征是，步骤( 中的干燥温度为50°C 90°C，干薄膜的厚度为0. 5 1. 5微米。8.根据权利要求6所述的环保型光刻胶组合物成像的方法，其特征是，步骤C3)中紫外光波长为150 300nm，强度为5 15mW/cm2。9.根据权利要求6所述的环保型光刻胶组合物成像的方法，其特征是，步骤(4)中烘焙温度为130°C 170°C，时间为10 30分钟。全文摘要本专利技术公开了一种环保型光刻胶组合物，包括a.在曝露于辐射时形成碱的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂，数量足以引发聚合物交联；b.含有酯基的水溶性聚合物；c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚合物、含有羟基的水溶性聚合物的质量比优选为1∶5～20∶5～20。本专利技术采用水溶性好的聚合物，避免有机溶剂的污染，且易得到均匀薄膜，含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂制备方法简单，主要原料已商业化，成本低，吸收光谱宽(190～280nm)、光激发效率高，催化活性高。文档编号G03F7/004GK102338985SQ201110179508公开日2012年2月1日 申请日期2011年6月29日 优先权日2011年6月29日专利技术者万茂生, 周晨, 曹成波, 沈新春, 王名扬 申请人:山东大学本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．环保型光刻胶组合物，其特征是，包括：ａ．在曝露于辐射时形成碱的含羟基的烃基的双环胍光碱产生剂；ｂ．含有酯基的水溶性聚合物；ｃ．含有羟基的水溶性聚合物；ｄ．溶剂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曹成波，王名扬，沈新春，万茂生，周晨，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：88