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本发明提供一种基板清洗装置、涂覆显影装置以及基板清洗方法。基板清洗装置能够简便且有效地清洗基板的倒角部，还有利于节省空间。本发明的实施方式的基板清洗装置包括：基板保持旋转部，其保持基板的背面中心部并使该基板旋转；清洗构件，其包括第1清洗部、...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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