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GaN衬底以及采用该衬底的器件制造技术
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文档序号:7086717
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GaN衬底以及采用该衬底的器件。GaN衬底(30)的生长面(30a)是相对于m-面或a-面离轴定向的平面。亦即,在GaN衬底(30)中,生长面(30a)是已被偏离定向的m-面或a-面。由于,m-面和a-面是非极性面,利用该GaN衬底(30)...
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