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本发明提供旋转清洗装置，其具备：旋转工作台，其对晶片进行吸附保持并旋转；清洗液供给构件；清洗液接收容器，其具有围绕旋转工作台的环状外周侧壁、环状内周侧壁和底壁；驱动构件，其在清洗位置和退避位置之间移动清洗液供给构件；以及排气构件，其与清洗液...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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