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具有异质结双极晶体管和场效应晶体管的半导体器件制造技术
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下载具有异质结双极晶体管和场效应晶体管的半导体器件的技术资料
文档序号:7011559
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公开了一种具有异质结双极晶体管和场效应晶体管的半导体器件。该半导体器件具有形成在同一衬底上方的异质结双极晶体管(HBT)和场效应晶体管(FET)提供改进的HBT特性和降低的HBT集电极电阻,并且还提供了FET栅极凹陷的满意蚀刻,以及FET中...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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