下载具有异质结双极晶体管和场效应晶体管的半导体器件的技术资料

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公开了一种具有异质结双极晶体管和场效应晶体管的半导体器件。该半导体器件具有形成在同一衬底上方的异质结双极晶体管(HBT)和场效应晶体管(FET)提供改进的HBT特性和降低的HBT集电极电阻,并且还提供了FET栅极凹陷的满意蚀刻,以及FET中...
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