下载一种降低相变存储器单元操作功耗的方法的技术资料

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本发明涉及一种降低相变存储器单元操作功耗的方法,包括如下步骤:(1)在SiO2/Si基片上涂覆CeO2薄膜;(2)将步骤(1)中制备的涂覆有CeO2薄膜的SiO2/Si基片退火处理,制得具有缓冲层的SiO2/Si基片;(3)在步骤(2)中制...
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