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一种氧化锌薄膜的制备方法及应用技术
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下载一种氧化锌薄膜的制备方法及应用的技术资料
文档序号:6996504
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本发明属于半导体纳米结构的制备及电子器件的制造技术领域,尤其涉及一种具有二维多孔结构的氧化锌薄膜的制备方法,及基于该种薄膜的同时具有场发射和紫外光探测功能的器件。提供一种具有二维多孔结构的氧化锌薄膜的制备方法,更为重要的是基于这种薄膜的原理...
该专利属于济南大学所有,仅供学习研究参考,未经过济南大学授权不得商用。
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