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本发明公开了一种微机电系统的角度参数化宏建模方法，属于微机电系统设计与模型降 阶领域。该方法首先从相同几何形状的微结构中任意选取一个作为参考微结构，采用数值降 阶方法提取其宏模型；然后根据微结构方位之间的关系，采用矩阵坐标变换方法建立其它方...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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