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本发明实施例公开了一种测温装置及测温系统，涉及温度测量技术，能够准确地测量载板的温度。本发明实施例中的测温装置，包括热电偶、以及带动所述热电偶移动的动力装置；其中，所述热电偶通过连接杆固定到所述动力装置上；所述连接杆的一端设有所述热电偶，其...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。