温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种半导体器件制备过程中的加载互锁装置，包括晶圆承载盘，所述晶圆承载盘的表面设置有晶圆导向件，所述晶圆导向件用于支撑所述晶圆的面为斜面。采用本发明的加载互锁装置，即使所述晶圆因各种原因未能放到所述晶圆导向件的正确位置，所述晶圆也会...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。