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一种光学成像器件结构制造技术
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文档序号:6867145
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本发明公开了一种光学成像器件结构,该结构是由多个结构完全相同的成像器件构成的成像阵列,该多个成像器件被分为若干组,每一组中的成像器件具有相同的数目和相同的排列结构,且每组成像器件均包括一个参考单元和至少一个成像单元,该参考单元和成像单元是结...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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