下载一种氮化镓基发光二极管外延片及其生长方法的技术资料

文档序号:6865742

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明介绍了一种氮化镓基外延片的生长方法,通过在多量子阱层和p型铝镓氮层之间,用三乙基镓作为镓的金属有机源,二茂镁作为受主杂质生长p型空穴注入层,这种生长结构不仅降低了p型层的体电阻,而且提高了注入空穴的有效浓度,增加了空穴与电子在有源区的...
该专利属于大连美明外延片科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连美明外延片科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。