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本发明介绍了一种氮化镓基外延片的生长方法,通过在多量子阱层和p型铝镓氮层之间,用三乙基镓作为镓的金属有机源,二茂镁作为受主杂质生长p型空穴注入层,这种生长结构不仅降低了p型层的体电阻,而且提高了注入空穴的有效浓度,增加了空穴与电子在有源区的...该专利属于大连美明外延片科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连美明外延片科技有限公司授权不得商用。
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本发明介绍了一种氮化镓基外延片的生长方法,通过在多量子阱层和p型铝镓氮层之间,用三乙基镓作为镓的金属有机源,二茂镁作为受主杂质生长p型空穴注入层,这种生长结构不仅降低了p型层的体电阻,而且提高了注入空穴的有效浓度,增加了空穴与电子在有源区的...