下载一种闪存器件及其制造方法的技术资料

文档序号:6849540

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本发明公开了一种闪存器件,包括:半导体衬底;形成于所述半导体衬底上的闪存区;其中,所述闪存区包括:第一掺杂阱,所述第一掺杂阱内通过隔离区分为第一区和第二区,所述第二区内掺杂了与所述第一掺杂阱的导电性能相反的杂质;形成于所述第一掺杂阱上的高k...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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