下载存储器件及其制造方法的技术资料

文档序号:6840296

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本发明公开了一种存储器件及其制造方法,所述存储器件包括在半导体层中形成的MOSFET,以及位于MOSFET下方的电容器结构,所述电容器结构包括两个电容器电极,所述MOSFET的源区和漏区之一与所述两个电容器电极之一电连接,其中,所述电容器结...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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