下载具有轻掺杂漏极区的高电子迁移率晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:6828229

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本发明提供了具有轻掺杂漏极(LDD)区的高电子迁移率晶体管(HEMT)及其制造方法。该HEMT包括:源极;漏极;栅极;沟道提供层,用于形成至少二维电子气(2DEG)沟道;以及沟道形成层,至少该2DEG沟道将要形成在沟道形成层中,其中沟道提供...
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