下载一种量子阱发光管外延片及其生长方法的技术资料

文档序号:6793611

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本发明属于半导体技术类,具体是一种量子阱发光管外延片及其生长方法,其特征在于:外延片至少包括:一层n型GaAs衬底;一层n型掺杂的GaAs缓冲层,一层n型掺杂的AlGaAs下限制层,一层非掺杂或少量n型掺杂或部分厚度n型掺杂的AlGaAs下...
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