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本发明涉及一种化学机械研磨设备，包括：研磨头，所述研磨头内部具有气体加压室；气体连通管，与所述气体加压室连通；气压控制阀，设置于所述气体连通管上；过滤装置，固定设置于所述气体连通管上，位于所述气体加压室与所述气压控制阀之间。本发明所述化学机...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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