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本发明涉及的基板处理装置的壁面能量损失减少装置，由于在腔室壁面的隅角部分设置能够使能量损失最小化的电容器以及隅角挡板，因此可使腔室中央部和壁面间的电位差最小化，由此减少腔室的壁面部位的能量损失，不仅能够提高等离子体产生量，还能够生成整体上更...
该专利属于丽佳达普株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丽佳达普株式会社授权不得商用。

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