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检测碲化物半导体晶体中富Te相的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:6698511
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本发明公开了一种检测碲化物半导体晶体中富Te相的装置及方法,用于解决现有检测半导体晶体中富Te相的装置很难获得尺寸较大的视场,以及不能实现对晶体厚度方向的分层域聚焦成像的技术问题。技术方案是通过改变变焦镜筒的放大倍数实现了视场可调,同时高精...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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