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本发明涉及一种芯片键合辅助加压装置，属于微流控芯片加工技术领域。本发明包括限位块、底盘、圆锥接头、压紧螺母、压紧板、方形定位杆、连接杆、限位螺栓。限位块与底盘垂直固定，待键合的芯片放入底盘的定位凹台内，压紧板压在盖片上，限位螺栓穿过限位孔并...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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