下载半导体裸片及形成导电元件的方法的技术资料

文档序号:6663600

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本发明提供一种半导体裸片,包括一基底;一接合垫,形成于基底上方,接合垫具有一第一宽度;一聚酰亚胺层,形成于基底和接合垫上方,聚酰亚胺层于接合垫上方具有一第一开口,第一开口有一第二宽度;一硅基保护层,位于聚酰亚胺层上,硅基保护层于接合垫上方具...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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