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本发明提供一种基板载置台。该基板载置台不会污染腔室内，而且不在基板载置台上设置多余的孔，能够准确地测定在基板载置台上支承的晶圆的温度。该基板载置台包括：载置面(90a)，其用于载置晶圆(W)；基板抬起单元(80)，其用于利用提升销(84)将...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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