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本发明公开了一种用于投射光刻的照明光学系统。所述照明光学系统具有分面反射镜。所述分面反射镜具有多个面，用于照明光的光束的部分光束的反射引导。所述面的反射面可以被分别倾斜。在第一照明倾斜位置中，所述可倾斜的面将入射在它们上的部分光束沿着第一物...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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