用于投射光刻的照明光学系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于投射光刻的照明光学系统。所述照明光学系统具有分面反射镜。所述分面反射镜具有多个面，用于照明光的光束的部分光束的反射引导。所述面的反射面可以被分别倾斜。在第一照明倾斜位置中，所述可倾斜的面将入射在它们上的部分光束沿着第一物场照明通道引导到所述照明场。在另一照明倾斜位置中，所述可倾斜的面将入射在它们上的部分光束沿着另一场面照明通道引导到所述照明场。所述可倾斜的面的反射面被构造，使得以具有+/-10％容限范围内的一致性的反射率R反射至少两个照明倾斜位置中的部分光束。根据本发明专利技术，可以避免可倾斜的面的照明倾斜位置对照明光学系统的照明光通过量的不期望的影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于照明一照明场的、用于投射光刻的照明光学系统，在该照明场中可以布置后续成像光学系统的物场。此外，本专利技术涉及一种分配第二分面(facet)反射镜的至少两个第二面从而照明此类型的照明光学系统的第一分面反射镜的第一面中的一个的倾斜位置的方法、一种具有此类型的照明光学系统的照明系统、一种具有此类型的照明系统的投射曝光系统、一种使用此类型的投射曝光系统的微结构或纳米结构元件的制造方法、以及由此类型的制造方法制造的微结构或纳米结构元件。
技术介绍
具有可以在各个照明倾斜位置之间位移的面(即可位移的场面)的照明光学系统由 US 6，658，084B2 和 US 7，196，841B2 已知。
技术实现思路
本专利技术的目的在于开发开始提到的类型的照明光学系统，从而可以避免可倾斜面的照明倾斜位置对照明光学系统的照明光输出量，尤其是对照明光学系统的总透过率的不期望的影响。根据本专利技术的第一方面，通过一种照明光学系统实现此目的，所述照明光学系统具有分面反射镜，所述分面反射镜具有多个面，用于照明光的光束的多个部分光束的反射引导，其中所述面的反射面可以在每种情况下在第一照明倾斜位置与至少一个其它照明倾斜位置之间倾斜，所述第一照明倾斜位置将入射在所述面上的部分光束沿着第一物场照明通道引导到所述照明，所述至少一个其它照明倾斜位置将入射在所述面上的部分光束沿着另一物场照明通道引导到所述照明场，其中所述可倾斜的面的反射面被如此构造，使得以具有+/-10%容限范围内的一致性的反射率R反射至少两个照明倾斜位置中的所述部分光束ο根据本专利技术的第二方面，通过一种用于照明一照明场的、用于投射光刻的照明光学系统实现此目的，在所述照明场中可以布置后续成像光学系统的物场，所述照明光学系统具有分面反射镜和布置在所述分面反射镜的下游的第二分面反射镜。所述分面反射镜具有多个面，用于照明光的光束的多个部分光束的反射引导，其中所述面的反射面可以在每种情况下在第一照明倾斜位置与至少一个其它照明倾斜位置之间倾斜，所述第一照明倾斜位置将入射在所述面上的部分光束沿着第一物场照明通道引导到所述照明场，所述至少一个其它照明倾斜位置将入射在所述面上的部分光束沿着另一物场照明通道引导到所述照明场。所述第二分面反射镜具有多个第二面，用于被所述第一分面反射镜的第一面反射的部分光束的反射引导，从而通过所述反射光束引导预先确定所述物场照明通道，在每种情况下将所述两个分面反射镜的一个面分配到所述物场照明通道，其中第二面利用所述至少两个照明倾斜位置而被分别分配给所述第一分面反射镜的第一面中的一个，以形成所述物场照明通道，所述第二面位于所述第二分面反射镜的由两个二次截面线(conic sectionline)限制的部分上，所述两个二次截面线中的每个定义所述部分光束以所述部分光束在所述第一面上的相同反射角入射在所述第二分面反射镜上的入射位置，以指定各自的物场照明通道。根据本专利技术认识到针对各个照明倾斜位置的入射角具有容限范围内的反射率导致如下事实可倾斜的场面将入射在它们上的照明光中继到照明场，而不论它们的照明倾斜位置如何，而照明光的能量的一致性符合预定容限范围内的反射率的一致性。假定可能跟随这些面之后的光学组件的反射率与可倾斜的面的各个照明倾斜位置无关，则这导致照明场的能量照明在容限范围内与照明倾斜位置无关。可以在至少两个照明倾斜位置中以 +/-5%、+/-2%、+/-1 %容限范围内的一致性或更好的一致性的反射率R反射部分光束。一般地，分面反射镜的多个面可以在至少两个照明倾斜位置之间倾斜。例如，分面反射镜的一个预定面组或所有面是可倾斜的。可倾斜的面可以是精确地在两个照明倾斜位置之间可倾斜的。替代地，可倾斜的面还可以是在多于两个例如三个或更多的照明倾斜位置之间可倾斜的。至少两个物场照明通道被分配给所述可倾斜的面之一的至少两个照明倾斜位置， 所述至少两个物场照明通道在可倾斜的面上的反射区域中被引导，从而以具有+/-10%容限范围内的一致性的入射角β在所述反射面上反射所述至少两个照明倾斜位置中的部分光束，因为该入射角的一致性，所述入射角导致可以以优化的方式构造可倾斜的面以及特别地构造它们的反射面上的反射涂层。因此，不需要针对其它入射角的优化。其中所述两个物场照明通道关于入射在所述反射面上的部分光束因反射相互成为镜像的镜面对称导致照明光学系统的简单结构化的结构。所述两个物场照明通道通过关于一平面相互成为镜像，该平面包含反射面上的入射部分光束并垂直于部分光束入射平面。其中所述可倾斜的面的反射面被划分为至少两个反射部分，并分别针对所述照明倾斜位置之一优化它们的反射率R，所述反射部分对于在各个照明倾斜位置上非常不同的入射角允许相同的反射率。原理上，所述反射面还可以被划分为多于两个反射部分，接着继而依据照明倾斜位置分配所述多于两个的反射部分。所述至少一个可倾斜的面的反射面所具有的反射涂层允许所述面的特别高的反射率。所述反射涂层可以被构造为单层涂层。所述反射涂层可以被构造为双层涂层。所述反射涂层可以被构造为多层涂层。所述多层涂层可以例如具有5层、10层、20层、30层或更多层。所述多层涂层可以被构造为交替材料层的涂层。例如可以使用交替的钼/硅层。所述反射涂层被如此设计，使得对应于所述至少两个照明倾斜位置的所述可倾斜的面上的入射角β的部分光束被以+/-10%容限范围内的一致性的反射率R反射，所述设计使得具备反射涂层的面对于分配给各个照明倾斜位置的不同入射角(尤其是对于非常不同的入射角)具有相同的反射率。反射涂层还可以被设计为使得对于超过两个照明倾斜位置存在反射率的一致性。宽带反射涂层允许在围绕指定值的入射角范围内恒定的反射率。所述反射涂层被如此设计，使得针对分配到所述至少两个照明倾斜位置的入射角 β，产生具有+/-10%容限范围内的一致性的反射率，该反射率比所述反射涂层对于照明光的最大反射率Rmax小了超过1%，该反射涂层设计允许它们被设计为，针对具有最大反射率的入射角附近的两个特定入射角具有容限范围内的相同反射率。在至少两个照明倾斜位置中，在容限范围内一致的反射率可以比反射涂层对于照明光的最大反射率小超过2%、超过 5%或超过10%。如下照明光学系统的设计在实践中已被证实是成功的在所述分面反射镜的下游布置第二分面反射镜，并且第二分面反射镜具有多个第二面，用于反射引导由所述第一分面反射镜的第一面反射的部分光束，从而通过反射光束引导预先确定所述物场照明通道， 在每种情况下将所述两个分面反射镜的一个面分配到所述物场照明通道。第一分面反射镜可以是场分面反射镜，第二分面反射镜可以是光瞳分面反射镜。然后对每个物场照明通道分配精确的一个场面以及精确的一个光瞳面。根据照明倾斜位置的数量，所述场面可以指定多个物场照明通道，其接着入射在不同的光瞳面上。根据所述第二方面，向第一分面反射镜的每个第一面分配具体的作为分配候选者的第二面，以指定第二分面反射镜上的物场照明通道，即位于第二分面反射镜的由两个二次截面线限制的二次截面部分内的那些第二面，每个二次截面线定义在第一面上反射的部分光束的相同反射角的位置，以指定各自的物场照明通道。当被分别观察的第一面被如此倾斜使得其被分配给二次截面部分内的第二候选面之一时，保证了本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于投射光刻的照明光学系统（２３；４０），用于照明场的照明，在所述照明场中可以布置后续成像光学系统（１９）的物场（１８），所述照明光学系统（２３；４０）：－具有分面反射镜（６）－所述分面反射镜（６）具有多个面（７；３２；３５），用于照明光（３）的光束的部分光束（２４）的反射引导，－其中所述面（７；３２；３５）的反射面（２５；３６）在每种情况下可以在第一照明倾斜位置与至少一个其它照明倾斜位置之间倾斜，－在所述第一照明倾斜位置，将入射在所述面（７；３２；３５）上的所述部分光束（２４）沿着第一物场照明通道（２６１）引导到所述照明场，－在所述至少一个其它照明倾斜位置，将入射在所述面（７；３２；３５）上的所述部分光束（２４）沿着另一物场照明通道（２６２）引导到所述照明场，－其中所述可倾斜的面（７；３２；３５）的所述反射面（２５；３６）被构造，使得以具有＋／－１０％容限范围内的一致性的反射率Ｒ反射至少两个照明倾斜位置中的所述部分光束（２４）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：汉斯于尔根曼，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE